ESD（Electro-Static discharge）的意思是“靜電釋放”。ESD是20世紀(jì)中期以來形成的以研究靜電的產(chǎn)生、危害及靜電防護(hù)等的學(xué)科。因此，國際上習(xí)慣將用于靜電防護(hù)的器材統(tǒng)稱為ESD。
靜電(staticcharge)
物質(zhì)表面經(jīng)由某種過程(如摩擦和感應(yīng))，使得物質(zhì)失去(帶正電)或得到(帶負(fù)電)電子，而將物質(zhì)本身成為帶有靜止的電荷；此電荷即為靜電。靜電放電(Electro-Static Discharge;ESD)
電位不同的物體間之電荷的轉(zhuǎn)移，不一定伴隨著有電弧或火花的發(fā)生。一般人體可感受到的靜電壓約在3KV以上。
EOS (Electrical Over-Stress)
定義：為一受較長時(shí)間(~ms) 、較高電壓及大電流所damage的事件.
時(shí)機(jī)：當(dāng)這事件發(fā)生在超過 datasheet所定之最大值時(shí)易造成產(chǎn)品物性 damage.
現(xiàn)象：
(1)電性:一般會使得產(chǎn)品造成金屬short 、leakage orfunction fail.
(2)物性:使用較低倍顯微鏡(OM)即可發(fā)現(xiàn)這種damage ，常發(fā)生于上表面的護(hù)層(passivation)至金屬界面.
(3)所有EOS damaged位置易出現(xiàn)褪色的物性 (Discoloration),由于金屬已被燒毀.
ESD (Electro-Static Discharge)
定義:此事件所發(fā)生的時(shí)間非常短 (pico to nano(1012~109)-sec,不超過200ns)能量相當(dāng)大(電流為安培-level).
電性:一般會使得產(chǎn)品造成Leakage or function fail.
物性:所造成的物性破壞為次表面(下層)damage.
分析:必需經(jīng)由漏電分析設(shè)備(如 LC, EMMI 等) 確認(rèn)漏電位置,在以化學(xué)方式逐層去除(Delayer), 再以高倍的電子顯微鏡(SEM)來分析.
常見EOS failure photograph
