在EDS能譜測試過程中，當兩種元素的譜峰能量很接近，以至于能譜儀對這兩個譜峰幾乎不能識別時（目前能譜儀的分辨率在133eV左右，當兩種元素能量差異小于133eV時，能譜儀就不能識別出這兩種元素），就會造成譜峰重疊或者互相干擾。
例如：
Al的Kα能量為E=1.4866kev，而Br的Lα能量為E=1.4805kev。
由于兩者能量非常接近，以目前能譜儀的分辨率不能很好地分辨出差異，對元素的標定造成了干擾。
那么應該如何鑒別出此處到底是哪種元素呢？
在牛津INCA軟件中，有譜圖重建功能，如下圖。
對于一般的重疊元素，可通過刪除重疊元素其中一個，若重建的譜線圖無太大變化，則刪除的元素為干擾元素；若重建的譜線圖‘掉落’，即擬合度大大降低，則說明存在此元素，如以下譜圖。
但此方法不適用于Al和Br的判定，如下圖:
那么我們應該如何鑒別此類型的重疊或干擾的元素呢？
我們知道Al的Kα和Br的Lα能量接近，但是還應該知道Br的Kα的能量為E=11.9089keV，也就是說如果在11.9089keV處有譜峰，此處即為Br元素，反之則為Al元素。
所以總結起來最簡單的重疊或干擾元素的標定和鑒別方法有如下兩種：
1.重建譜線圖，刪除重疊元素中的一種，如果譜線圖無太大變化，說明此元素為干擾元素；反之，若譜線圖‘掉落’，擬合度大大變差，說明存在此種元素。
2.當第1種方法不適用時，可根據重疊元素的其他線系譜峰圖進行鑒別。如果其他線系的能量處有譜峰，說明此元素存在；反之說明此元素為干擾元素。
